Используют для отжига, закалки, химико-термической обработки, могут иметь наружный или внутренний обогрев. В печах с наружным нагревом рабочая температура не превыщает 1100 С, в печах с внутренним обогревом она может быть выше 2000 С. По режиму работы вакуумные печи на периодического действия, в которых загрузка и выгрузка садки связаны с потерей вакуума; полунепрерывного действия, где загрузка и выгрузка осуществляется без нарушения вакуума, режим нагрева аналогичен режиму в печах периодического действия; непрерывного действия, загрузку и выгрузку в которых осуществляют непрерывно или порциями без нарушения вакуума. Вакуумные печи работают в автоматическом режиме.
