Обеспечивают возможность проведения термической обработки изделий в условиях вакуума.
Предлагаются следующие типы насосов:
- Одноступенчатый вакуумный насос для обеспечения вакуума до 20 мбар
- Двухступенчатый вакуумный насос для обеспечения вакуума не хуже 5×10-2 мбар
- Блок вакуумных насосов, включая форвакуумный насос и турбомолекулярный насос для обеспечения вакуума не хуже 5×10-5 мбар